無塵布的適用范圍很廣,只有潔凈要求比較高的,都會用到,比如,LCD組裝,或是一些表面清潔等

　　無塵室根據潔凈程度不同分很多等級

　　目前各半導體加工和面板組裝廠的無塵室等級大都為1000級和100級的居多

　　數字越小,潔凈等級越高

　　1000級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.5的灰塵顆粒不能過1000顆

　　100級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.3的灰塵顆粒不能過100顆

　　注意了,每個等級所管控的顆粒大小也不一樣

　　依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。

　　無塵室等級，無塵室標準，無塵室標準定義

　　一、無塵室定義

　　將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及

　　粒子，且指一般空氣清凈機無法清除之灰塵。

　　無塵室一般分為電子、精密工業用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物濃度等制藥、食品產業用BiologicalCleanRoo

　　(BCR)。

　　二、聯邦規格無塵室等級

　　現今一般多奉行與美國所制定的聯邦規格(U.S.Federalstandard209b)，BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格(美國航空

　　署5340.2規格)。

　　其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如：空氣中含有10個0.5

　　以下時，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。

　　三、在JIS標準下，無塵室清潔度，共分為8個等級

　　一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2•••8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為

　　1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3，一次類推。

　　21世界，產業的發展，加速了產業結構的變革，無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕

　　的變化對商品的完成度亦造成大的危害，導致品質低下。伴隨商品的高品質要求，環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中

　　用防塵材料及商品都顯得格外重要。

　　所謂的無塵室是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求，在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造*的要素。

　　無塵車間標準，潔凈室標準

　　一、無塵車間(Clean Room)，亦稱為潔凈室或無塵室。

　　「無塵車間」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　潔凈室主要之作用在于控制產品所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「無塵車間」。

　　二、無塵車間標準-等級

　　美國聯邦標準(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3

　　潔凈度 粒 徑 (um)

　　0.1 0.2 0.3 0.5 5.0

　　1 35 7.5 3 1 NA

　　10 350 75 30 10 NA

　　100 NA 750 300 100 NA

　　1000 NA NA NA 1000 7

　　10000 NA NA NA 10000 70

　　100000 NA NA NA 100000 700

　　中國藥品生產無塵車間(區)的空氣潔凈度標準

　　潔凈度 塵埃允許數 /平方米 微生物大允許數

　　≥0.5um 5um 浮游菌個 /立方米 沉降菌個 /皿.30min

　　100 3500 0 5 1

　　10000 350000 2000 100 3

　　100000 3500000 20000 500 10

　　300000 10500000 61800 NA 15

　　無塵車間及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001

　　空氣潔凈度等級 (N) 大于或等于表中粒徑的大濃度限值 (pc/m3)

　　0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

　　1 10 2

　　2 100 24 10 4

　　3 1000 237 102 35 8

　　4 10000 2370 1020 352 83

　　5 100000 23700 10200 3520 832 29

　　6 1000000 237000 102000 35200 8320 293

　　7 352000 83200 2930

　　8 3520000 832000 29300

　　9 35200000 8320000 293000

　　三、無塵車間標準-控管之項目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能防止微塵粒子之產生。

　　3. 溫度和濕度之控制。

　　4. 壓力之調節。

　　5. 有害氣體之排除。

　　6. 結構物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁干擾預防。

　　9. 安全因素之考慮。

　　10. 節能之考量。

　　四、無塵車間標準-分類

　　1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣由空調箱經風管與無塵車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。

　　優點：構造簡單、系統建造成本低，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：

　　(1)無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

　　優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。

　　缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

　　(2)無塵車間垂直層流式：房間天花板以PA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

　　優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。

　　缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　　3.復合式(Mixed Type)：

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可局部潔凈之空氣。

　　(1)無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或PA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，SI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。

　　(2)無塵車間潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

　　(3)無塵車間并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;即屬此類。

　　潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

　　潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或PA及空調送風機組而成為一較之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10M2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

　　五、無塵車間標準-氣流之流動

　　無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。

　　無塵車間系利用HEPA、PA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。

　　無塵車間內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風區域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度水準之時，能以適當的風速供應，以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。

　　另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發生渦流作用，此時要實現高潔凈度事實上很困難。

　　無塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

　　影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

　　一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從制程區內部流向作業區，而將微塵帶走;若分流點配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至制程區之后，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

　　無塵車間內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現象減少低;組裝材料之選擇是否恰當、設備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

　　六、無塵車間標準-構成

　　潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的)，否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室

　　(1)天花板系統：包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。

　　(2)空調系統：包括空氣艙、過濾器系統、風車等。

　　(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。

　　(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

　　(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

　　無塵車間之建筑主體構造，一般采用雙面板夾芯彩鋼板制造，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：A.不會因溫度變化與振動而發生裂痕;B.不易產生微塵粒子，且很難附著粒子;C.吸濕性小;D.為了維持室內之濕度條件，熱絕緣性要高

　　無塵車間標準：設計與施工嚴格按照《ISO/DIS14644-1標準》、《GB50073-2001無塵車間裝設計規范》、《JGJ71-90無塵車間裝施工及驗收規范》等標準，以ISO9002質量體系為宗旨，進行凈化工程的設計、制作、安裝、調試 的一條龍服務，滿足了不同行業對凈化、空調、無菌、照明、電氣及裝飾等需要。并且對外承接空調水系統安裝，配電系統安裝。

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